微流控芯片制備濕法刻蝕設備
- 制造廠商：沈陽芯源微電子有限公司
- 購置日期：2016-09-16
- 型號：KS-M200-1E
- 生產國別：中華人民共和國
- 儀器類別：工藝實驗設備
- 安放地址：上海市
跨區域科技政策：
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上海
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- 儀器詳情
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本設備需實現200mm方片基板的刻蝕、清洗，實現高精度線寬控制、大寬長比、高均勻性側壁斷面控制等多方面性能要求。
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暫無信息
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暫無信息
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刻蝕均勻性指標：刻蝕ITO≤a±3%，刻蝕Mo≤a±5%，初始均勻性為a。
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電子與通信技術,工程與技術科學基礎學科
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用于金屬材料刻蝕
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暫無信息
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暫無信息
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1400
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100
上海大學
機構介紹: 上海大學是上海市人民政府舉辦的綜合性大學，是“九五”、“十五”期間國家“211工程”重點建設高校，以本科教育為基礎和主體，重點發展研究生教育，積極發展留學生教育。擁有理學、力學、文學、歷史學、哲學、法學、經濟學、管理學等8個學科門類。以國家級和上海市重點學科為支持點，以博士學位學科點為基本面，搭建布局和結構比較合理的學科平臺。不斷更新學科內容，為改造傳統產業、開拓新型產業、促進社會文化進步提供有力的科技支持和人才保障。
資質能力：
